ИССЛЕДОВАНИЕ ГРАДИЕНТА РАСПРЕДЕЛЕНИЯ ДЕФЕКТОВ В МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКИХ ПЛАСТИНАХ КРЕМНИЯ И АРСЕНИДА ГАЛЛИЯ С ПОМОЩЬЮ РЕНТГЕНОВСКОЙ ТОПОГРАФИИ | Опубликовать статью ВАК, elibrary (НЭБ)
ИССЛЕДОВАНИЕ ГРАДИЕНТА РАСПРЕДЕЛЕНИЯ ДЕФЕКТОВ В МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКИХ ПЛАСТИНАХ КРЕМНИЯ И АРСЕНИДА ГАЛЛИЯ С ПОМОЩЬЮ РЕНТГЕНОВСКОЙ ТОПОГРАФИИ Научная статья Комаровский Н.Ю.1, *, Ющук В.В.2, Биндюг Д.В.3, Богембаев Н.Р.4 1, 2 АО «Гиредмет», Москва, Россия; 3, 4 Национальный исследовательский технологический университет «МИСиС», Москва, Россия * Корреспондирующий автор (nickkomarovskiy[at]mail.ru) Аннотация В данной работе исследовалась зависимость величины диффузионного рассеяния от…
