ФОРМИРОВАНИЕ ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИХ МЕМБРАННЫХ ПЛЁНОК, КАК КОНСТРУКТИВНОЙ ОСНОВЫ ЧУВСТВИТЕЛЬНЫХ ЭЛЕМЕНТОВ ДАТЧИКОВ КОНЦЕНТРАЦИИ ГАЗА | Опубликовать статью РИНЦ
Веселов Д.С.1, Воронов Ю.А. 2, Ванюхин К.Д.3 1Кандидат технических наук; 2кандидат технических наук, доцент; 3аспирант, Национальный исследовательский ядерный университет «МИФИ» ФОРМИРОВАНИЕ ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИХ МЕМБРАННЫХ ПЛЁНОК, КАК КОНСТРУКТИВНОЙ ОСНОВЫ ЧУВСТВИТЕЛЬНЫХ ЭЛЕМЕНТОВ ДАТЧИКОВ КОНЦЕНТРАЦИИ ГАЗА Аннотация Реактивным магнетронным распылением получены диэлектрические мембранные плёнки различного элементного состава и исследованы их свойства. Проведён качественный анализ стойкости плёнок к разрушениям и…