ПРИМЕНЕНИЕ ПОЛИКРИСТАЛЛИЧЕСКОГО АЛМАЗА ДЛЯ РАЗРАБОТКИ ВЫСОКОТЕМПЕРАТУРНЫХ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ТЕНЗОРЕЗИСТИВНЫХ ДАТЧИКОВ ДАВЛЕНИЙ | Опубликовать статью РИНЦ
Евдокимов С.П. Соискатель, Пензенский государственный университет ПРИМЕНЕНИЕ ПОЛИКРИСТАЛЛИЧЕСКОГО АЛМАЗА ДЛЯ РАЗРАБОТКИ ВЫСОКОТЕМПЕРАТУРНЫХ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ТЕНЗОРЕЗИСТИВНЫХ ДАТЧИКОВ ДАВЛЕНИЙ Аннотация В статье описано применение поликристаллического алмаза для создания высокотемпературных полупроводниковых датчиков давления. Приведены результаты исследования температурной зависимости тензочувствительности пленок поликристаллического алмаза. Ключевые слова: Пленки поликристаллического алмаза, чувствительный элемент, высокотемпературный датчик давления. Evdokimov S. P. Applicant, Penza State University…
