МИКРОПЛАЗМЕННОЕ ОКСИДИРОВАНИЕ ПОВЕРХНОСТИ ЦИРКОНИЯ С ПРИМЕНЕНИЕМ ИНВЕРТОРНОГО СРЕДНЕЧАСТОТНОГО ИСТОЧНИКА ПИТАНИЯ | Опубликовать статью ВАК, elibrary (НЭБ)

Губайдулина Т.А.1,  Сергеев В.П.2, Кузьмин О.С.3, Калашников М.П.4 1Кандидат технических наук, старший научный сотрудник, Институт физики прочности и материаловедения СО РАН; 2 доктор технических наук, заместитель директора по научно-производственной работе, Институт физики прочности и материаловедения СО РАН; 3конструктор, Институт физики прочности и материаловедения СО РАН; 4технолог, Институт физики прочности и материаловедения СО РАН МИКРОПЛАЗМЕННОЕ ОКСИДИРОВАНИЕ…